Oprema serije CMP-a samostalno razvijena od strane LSTD-a Proizvođači poluvodičkih materijala kao što su SI, SIC, GAAS, LNP, GAN, CDTE, Diamond itd. Oprema za recikliranje remi su ušla u više poduzeća za proizvodnju poluvodiča poput SMIC-a; Automatizirana proizvodna linija za poliranje silicijuma za poliranje karbida bit će dostavljena u tvornicu kupca na probnu proizvodnju u Q 1 2024;
Na temelju prvobitne laboratorije bit će uloženo milioni yuana na izgradnju nivoa 100000, 10000 nivoa i 100 razinih čista soba i preciznu opremu za ispitivanje, koja će se pregledati i staviti u upotrebu u drugoj polovini 2024.
6 "/ 8" SIC redno poliranje
6 "/ 8" SIC vafer
Čišćenje sobe 100 klasa
Mašina za čišćenje sa više utora
Kapacitet inspekcije
